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日本KASHIYAMA樫山工業(yè)工業(yè)真空泵MU600X 能夠很好地應(yīng)對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。

日本KASHIYAMA樫山工業(yè)MU300X干式真空泵 能夠很好地應(yīng)對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。

KASHIYAMA樫山工業(yè)耐加工干式真空泵MU180X 能夠很好地應(yīng)對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。

KASHIYAMA樫山工業(yè)MU100X耐加工干式真空泵 能夠很好地應(yīng)對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。